●用于空氣
適用液體:空氣,氮?dú)猓瑲鍤?,二氧化?br />空氣質(zhì)量等級(jí)為JIS B 8392.1-1。1.2至1.6.2,ISO 8573.1-1。1.2至1.6.2。
●用于去離子水,化學(xué)品
適用液體:去離子水
超純水
不會(huì)腐蝕管道材料的液體。
●用于水
適用液體:
水(50%)和乙二醇(50%)的水混合物
●卡曼漩渦
當(dāng)細(xì)長物體(渦流發(fā)生器)放置在流動(dòng)中時(shí),在下游側(cè)產(chǎn)生往復(fù)渦流。這些渦流在某些條件下是穩(wěn)定的,并且它們的頻率與流速成比例,得到下面的公式。
f = k×v
f:渦旋頻率v:流速k:比例常數(shù)(由渦流發(fā)生器的尺寸和形狀決定)。因此,可以通過檢測(cè)該頻率來測(cè)量流速。
●熱式(MEMS)
該MEMS傳感器芯片由上游溫度測(cè)量傳感器(Ru)和下游溫度測(cè)量傳感器(Rd)組成,它們從安裝在膜上的鉑薄膜涂層加熱器(Rh)的中心對(duì)稱放置,以及環(huán)境溫度傳感器( Ra)用于測(cè)量氣體溫度。
原理如下圖所示,Ru和Rd之間的電阻差異與流速成正比,因此電阻的測(cè)量和分析可以顯示氣體的流動(dòng)方向和速度。
Ra用于補(bǔ)償氣體和/或環(huán)境溫度。
該流量開關(guān)使用L / min作為流量指示器單元。質(zhì)量流量在0℃和101.3kPa以及20℃和101.3kPa的條件下轉(zhuǎn)換和顯示。
對(duì)于空氣
適用液體:空氣,氮?dú)猓瑲鍤?,二氧化?br />空氣質(zhì)量等級(jí)為JIS B 8392.1-1。1.2至1.6.2,ISO 8573.1-1。1.2至1.6.2。
●熱敏型(熱敏電阻)
加熱的熱敏電阻安裝在通道中,當(dāng)熱敏電阻被引入通道時(shí),流體從熱敏電阻吸收熱量。熱敏電阻的電阻值隨著熱量的增加而增加。由于電阻值增加比與流速具有均勻的關(guān)系,因此可以通過測(cè)量電阻值來檢測(cè)流速。為了進(jìn)一步補(bǔ)償流體和環(huán)境溫度,溫度傳感器也內(nèi)置在開關(guān)中,以便在工作溫度范圍內(nèi)進(jìn)行穩(wěn)定的測(cè)量。
該流量開關(guān)使用L / min作為流量指示器單元。質(zhì)量流量在0℃和101.3kPa以及20℃和101.3kPa的條件下轉(zhuǎn)換和顯示。